現代工業產品生產和現代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性，國內外的潔凈工程的發展都是隨著科學工程的發展、工業產品的日新月異，特別是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展而不斷發展。

    高純度的產品，如生產集成電路所需單晶硅材料，生產光纖所需四敘化硅、四氯化錯材料等已由過去的所謂高純進入“電子純”“超純”，只有達到如此高的純度才能達到現代集成電路、電子元器件、光纖產品所需的工程特性。要生產如此高純度的產品，就必須達到相應的受控生產環境的空氣潔凈度等級和具有相應高純度的與產品直接接觸的超純水、超純氣體、超純試劑等。基于這種趨勢，潔凈工程的發展已成為現代工業生產和科學實驗活動不可缺少的重要標志之一。

    20世紀60年代的潔凈工程在美國、歐洲等發達國家順應各行各業產品生產和科學實驗活動的需要得到了廣泛應用，可以認為是潔凈工程的大發展時期。我國的潔凈工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的設計、建造發展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室。

    與此同時，潔凈工程的潔凈廠房用設備和材料，如高效過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入生產，雖然制造質量和某些工程指標與國際水平尚有差距，但已能滿足國內部分需求。